MEMS and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering

Phương pháp tiếp cận thiết kế kỹ thuật cho Hệ thống vi cơ điện tử, MEMS và Vi hệ thống vẫn là tài liệu duy nhất có sẵn bao quát cả khía cạnh điện và cơ của công nghệ này.

Trong năm năm kể từ khi xuất bản ấn bản đầu tiên, đã có những thay đổi đáng kể trong khoa học và công nghệ thu nhỏ, bao gồm công nghệ vi hệ thống và công nghệ nano. Để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của các kỹ sư trong việc tiếp thu kiến thức và kinh nghiệm cơ bản trong các lĩnh vực này, tài liệu phổ biến này đã được cập nhật cẩn thận, bao gồm một phần hoàn toàn mới về giới thiệu kỹ thuật nano.